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  国家知识产权局信息数据显现，北京中科科仪股份有限公司请求一项名为“一种耐烧蚀分子泵及半导体制作体系”的专利，公开号CN121322412A，请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现，本发明触及半导体制作技术领域，公开了一种耐烧蚀分子泵及半导体制作体系，耐烧蚀分子泵包含泵壳、转子、通气结构和耐烧蚀窗，壳体榜首端开口设置，壳体第二端与底座衔接；转子设置于壳体内并与底座衔接；通气结构设置于壳体内并接近开口设置，通气结构上开设有通气孔和装置孔；耐烧蚀窗对应装置孔设置，耐烧蚀窗包含窗框和叶片，窗框与通气结构可拆卸衔接，叶片与窗框衔接并呈视点设置，沿榜首方向，恣意相邻两个叶片在窗框地址平面上的投影彼此抵接或部分堆叠设置。本发明中叶片沿榜首方向在窗框地址平面的投影彼此抵接或部分堆叠，完成沿榜首方向对转子的遮挡，使离子束无法直接与转子触摸，完成对转子的维护，进步分子泵的全体运用寿数。

  天眼查资料显现，北京中科科仪股份有限公司，成立于2000年，坐落北京市，是一家以从事通用设备制作业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。经过天眼查大数据分析，北京中科科仪股份有限公司共对外出资了6家企业，参加招投标项目356次，产业线条，此外企业还具有行政许可17个。

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